Dhigista
In la helo fikrado oo dedeji habka horumarinta.
Tamarta horumarsan waxay keentaa sahayda korantada iyo xalalka xakamaynta ee codsiyada meel dhigista filimada khafiifka ah iyo qalabka joomatariyada.Si loo xalliyo caqabadaha farsamaynta wafer-ka, xalalkayaga saxda ah ee beddelka awoodda ayaa kuu oggolaanaya inaad kor u qaaddo saxnaanta awoodda, saxnaanta, xawaaraha, iyo habka soo celinta.
Waxaan bixinaa tiro balaadhan oo ah soo noqnoqoshada RF, nidaamyada korantada DC, heerarka wax soo saarka tamarta la habeeyey, teknoolajiyada u dhigma, iyo fiber optic xal ilaalinta heerkulka kuwaas oo run ahaantii awood aad si fiican u xakameeyo balasmaha geedi socodka.Waxaan sidoo kale isku darnaa Degdegga DAQ™ iyo helitaanka xogtayada iyo qolka gelitaannada si aan u bixinno aragti habka iyo dardargelinta geeddi-socodka horumarinta.
Baro wax badan oo ku saabsan hababkayada wax soo saarka semiconductor si aad u hesho xalka ku habboon baahiyahaaga.
Caqabaddaada
Laga soo bilaabo filimada loo isticmaalo qaabaynta cabbirada isku dhafan ee isku dhafan ilaa filimada wax-qabadka iyo dahaarka (qaababka korantada), filimada birta ah (isku-xidhka), hababka dhigistaagu waxay u baahan yihiin xakamaynta heerka atomiga - maaha oo kaliya muuqaal kasta laakiin dhammaan waferka oo dhan.
Marka laga reebo qaab-dhismeedka laftiisa, filimadaada la xareeyay waa inay ahaadaan kuwo tayo sare leh.Waxay u baahan yihiin inay lahaadaan qaab-dhismeedka hadhuudhka la doonayo, lebbiska, iyo dhumucda iswaafajinta, oo ay noqdaan kuwo aan waxba ka jirin - taasina waxa u dheer bixinta culaysyo farsamo oo loo baahan yahay (cadaadis iyo xajin) iyo guryaha korantada.
Kakanaanta kaliya ayaa sii socota inay korodho.Si wax looga qabto xaddidaadaha lithography (sub-1X nm noode), farsamooyinka qaabaynta laba-laaban iyo afar-jibbaaran ee is-xukun waxay u baahan yihiin habka dhigista si loo soo saaro oo dib loogu soo saaro qaabka wafer kasta.
Xalkayaga
Markaad geyso codsiyada meel dhigista ugu muhiimsan iyo joomatariyada aaladaha, waxaad u baahan tahay hogaamiye suuqa oo la isku halayn karo.
Korontada RF ee tamarta horumarsan iyo tignoolajiyada isbarbardhiga xawaaraha sare waxay awood kuu siinaysaa inaad habayso oo aad kor u qaaddo saxnaanta awooda, saxnaanta, xawaaraha, iyo habka ku celcelinta looga baahan yahay dhammaan hababka kaydinta PECVD ee horumarsan iyo PEALD.
Isticmaal tignoolajiyada koronto-dhaliyaha DC-ga si aad u hagaajiso jawaabtaada la habeeyay ee arc, saxnaanta awoodda, xawaaraha, iyo habka ku celcelinta ee loo baahan yahay PVD (tuugid) iyo hababka kaydinta ECD.
Faa'iidooyinka
● Xasiloonida balaasmaha oo la xoojiyey iyo ku celcelintu waxay kordhisaa wax soo saarka
● Gaarsiinta saxda ah ee RF iyo DC oo leh koontarool buuxa oo dhijitaal ah ayaa gacan ka geysta hagaajinta hufnaanta habka
● Jawaab degdeg ah oo ku saabsan isbeddelada balaasmaha iyo maaraynta arc
● garaacis heerar kala duwan leh oo la hagaajinayo inta jeer ee laqabsiga waxay wanaajisaa xulashada heerka etch
● Taageerada caalamiga ah ee la heli karo si loo hubiyo waxqabadka ugu badan ee wakhtiga iyo waxqabadka alaabta